ネオンヘリウム精製システム
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ネオンヘリウム精製システム
粗ネオンおよびヘリウム精製システムは、空気分離ユニットのネオンおよびヘリウム濃縮セクションから生ガスを収集します。触媒による水素除去、極低温窒素吸着、極低温ネオンヘリウム留分、ネオン分離のためのヘリウム吸着という一連のプロセスを通じて、水素、窒素、酸素、水蒸気などの不純物を除去します。このプロセスにより、高純度のネオンとヘリウムのガスが生成されます。精製されたガス製品は次に再加熱され、バッファタンク内で安定化され、ダイヤフラムコンプレッサーを使用して圧縮され、最終的に高圧製品シリンダーに充填されます。
